SiCウエハー用に粗さ1nm級の専用研削砥石を量産する愛知の中小企業
豊田バンモップス(愛知県岡崎市、田渕一雄社長)は、高性能パワー半導体向けに需要拡大が期待される炭化ケイ素(SiC)ウエハー用に、表面粗
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